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電子級羥基乙叉二膦酸（HEDP）
一、性能與用途
電子級HEDP為電子級高純產品，具有很強的金屬離子螯合能力，在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度。
二、技術指標
| 項 目 | 指 標 | |
| 外 觀 | 無色透明液體 | 晶體 |
| 活性（以HEDP計）/% | ≥60.0 | ≥90.0 |
| 單金屬離子/ppb | <10ppb（可根據客戶需求定制） | |
三、包裝與貯存
電子級HEDP液體用電子級塑料桶包裝，每桶25kg或200kg，可根據客戶需求定制。貯存于室內陰涼通風處，貯存期十二個月。
四、安全與防護
電子級HEDP為酸性，操作時注意勞動防護，應避免與皮膚、眼睛等接觸，接觸后應立即用大量清水沖洗。
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